HMDS 烘箱原理

     HMDS 烘箱也稱為HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS蒸鍍機等，是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C)，在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。

HMDS 烘箱技術(shù)指標

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤133pa（1torr）

控制儀表：人機界面，一鍵運行

HMDS控制：可設(shè)定

HMDS工藝：進入腔體到尾氣排出*密閉，無任何泄漏

安全檢測：在線檢測，HMDS泄漏警 報提示

儲液瓶：HMDS儲液瓶 

真空泵：無油渦旋真空泵

規(guī)格尺寸（mm）：300*300*300/450*450*450、定制

數(shù)據(jù)記錄：開機、待機、升溫、壓力等數(shù)據(jù)記錄

功能：脫水烘烤、增粘劑蒸鍍、后烘

用途 ：將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

  無氧烘箱，真空無氧烘箱，無塵烘箱，HMDS烘箱，硅烷蒸鍍機，無塵無氧烘箱，氮氣烘箱，真空熱風一體烘箱，超低溫試驗箱，快溫變試驗箱，恒溫恒濕試驗箱，高低溫沖擊試驗箱等設(shè)備，以及非標定制。---上海雋思儀器專業(yè)生產(chǎn)/服務(wù)！